气体质量流量传感器在电加热器智能控制系统中的应用：电加热器智能控制系统，包括电加热装置、电源装置、测量装置和控制装置，电加热装置包括炉、一、二电加热器、一、第二电加热器设置在炉内，电源装置包括一、第二继电器、一、第二功率可控电源，测量装置包括气体流量传感器、一温度传感器和第二温度传感器，控制装置包括一个控制器，气体流量传感器设置在炉的入口处，一温度传感器设置在炉的出口处，第二温度传感器设置在炉的内壁上。电加热器智能控制系统可自动控制电加热器的工作过程，降低大功率电加热器的安全风险，提高温度控制精度。

      气体质量流量传感器的结构和制造方法简介：气体流量传感器属于MEMS制造技术领域，开放了气体质量流量传感器的结构及其制造方法，包括第三离子混合浓度的加热器电阻、一组第二离子混合浓度、下游半导体热电极、第二组一离子混合浓度、下游半导体热电极，其中第二离子混合浓度和第三离子混合浓度大于一离子混合浓度。本发明提供了气体流量传感器的结构及其制造方法，在传统设备结构中增加了一组上下游热电偶，在气流上下游形成两组不同的离子混合浓度，下游半导体热电极，通过电压差计算，基本抵消半导体材料塞贝克系数随温度变化的影响，使参考数据随温差线性变化，有利于提高气体温度和流量检测的灵敏度和准确性。