的局限性。潜在问题包括温度检测器上的水分（饱和气体）冷凝。这种冷凝会导致温度计读数偏低并可能导致腐蚀。传感器上的涂层或材料堆积也会抑制传热并导致仪表读数偏低。其他潜在的误差源包括由气体成分变化引起的比热变化。

热气体质量流量传感器的一些常见气体流量应用包括大型锅炉中的燃烧空气测量、半导体过程气体测量、核电站中的空气采样、化学和石化工业中的过程气体测量、研发应用、气相色谱以及过滤器和泄漏测试。虽然热线风速计适合低速清洁气体，但文丘里管流量计也可以考虑用于某些液体（包括浆料）流动应用。气体质量流量传感器非常适合对极低流量进行高量程测量，但也可用于测量大流量，如助燃空气、天然气或压缩空气的分布。

在检测可压缩蒸汽和气体的质量流量时，测量不受压力和/或温度变化的影响。热式气体质量流量传感器的功能之一是精确测量低气体流速或低气体速度（低于每分钟25英尺），远低于任何其他设备所能检测到的。如果热流量计在恒定温差模式下运行，则可提供高量程。另一方面，如果热量输入恒定，则检测非常小的温差的能力受到限制，精度和量程范围都会下降。在正常流量下，测量误差通常在1-2%满量程范围内。该传感器采用高压和高温设计，以及特殊材料，包括玻璃、蒙乃尔合金和PFA。流通式设计用于测量纯物质的小流量（如果气体是纯净的，则热容是恒定的），而旁路和探头型设计可以检测管道、火炬烟囱和干燥器中的大流量。